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真空釬焊爐真空系統的工作原理

查看：1377 　發稿日期：2016-01-13 17:40:11

釬焊爐設備真空系統主要由真空室、泵系統和各控制閥及熱交換器組成。其中泵系統由機械泵、維持泵、羅茨泵、擴散泵構成。閥門包括前級閥（碟閥）、旁路閥（碟閥）、維持泵閥（碟閥）和高閥（板閥）組成，各閥門均為氣動閥，由PLC控制氣動閥進行控制

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