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激光輔助連接

     季凌飛根據可伐合金和玻璃兩種材料對1.07pm波長的激光具有選擇吸收機制，然后利用兩者完全不同的熱力學參數，使饑荒束直接作用金屬表面的氧化層，然后通過熱傳導及后續的激光能量輸入等物理化學機制，是玻璃和金屬發生一系列的反應，最終形成良好的街頭。由于激光聚焦后光斑功率密度非常高，可使加工表面溫度迅速上升，輻照結束溫度則有迅速下降，高溫急冷可致極小熱影響區，從而減小封接處得應力。

     馬子文利用激光與物質相互作用的熱效應實現微光系統器件的局部加熱鍵合原理，提出了一種新的無需外壓力作用的 Si /玻璃激光局部鍵合方法，其實質是直接鍵合與局部鍵合的結合。在鍵合過程中既發生了高溫退貨又發生了一部分材料的熔融。試驗首先對硅和玻璃進行親水性表面活化處理和預鍵合，然后選擇合適的激光參數既加工環境實現了兩者的鏈接。研究了激光功率、激光掃描速度、底板材料等的影響，發現激光功率越大，掃描速度越小，鍵合線的寬度就越大。該方法、能有效減小鍵合片的殘余應力，控制鍵合線寬，剪切可達6.5-6.8 Mpa 。